以EDI纯水或蒸馏水作为超纯水系统的供给水时,纯化後的超纯水水质之差异比较!

分别以 ED I纯水与蒸馏水作为供给水时,纯化後的超纯水的 TOC 值如图１所示。以蒸馏水作为供给水虽然有时可以达到 EDI 纯水的效果,但其变动范围大,有时超纯水的TOC值会超过 80 ppb。而供以 EDI 纯水所得之超纯水,其 TOC 能够安定的保持在 5 ppb 以下。由此可知,以蒸馏水作为超纯水系统的供给水,有时不是非常合适。

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