以EDI或离子交换树脂作为超纯水系统的供给水时,纯化後之水质优劣比较

我们分别以EDI纯水与离子交换树脂水作超纯水纯化,并进行超纯水的TOC值(有机物浓度)检测(图１)。

以离子交换树脂水作为供给水时,初期超纯水的 TOC 值较高,为 100-300 ppb,之後会降低,介於 40-150 ppb,但不安定,进一步采样时发现,TOC 会随着时间而增加。而以 EDI 纯水作为供给水时,刚开始 TOC 为 200 ppb左右,之後介於 10-40 ppb,第二次用水之後则成为 10 ppb 左右安定的超纯水。

图２为 EDI 纯水(贮桶贮存後)与离子交换树脂水的水质(TOC值)变化。经纯水储槽贮存的 EDI 纯水於试验期间都采样检测,离子交换树脂水则於累积体积达到 500 公升後予以检测。结果显示,EDI 纯水即使经过贮存,检测期间的 TOC 值都非常安定,而离子交换树脂水的 TOC 值都很高,而且每天的起伏也很剧烈。因此,如果用离子交换树脂水做为供应水,将无法充分发挥超纯水系统应有的纯化功能。

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