序号

水质项目

一级高纯水指标

二级高纯水指标

1

电阻率（25℃）MΩ·cm

≥15

≥10

2

电导率，μs/cm

0.05

0.1

3

PH值

6.8～7.2

6.6～7.4

4

细菌总数，个/mL

＜3

＜9

5

微粒（直径＞0.5μm，粒/mL）

＜150

＜300

6

二氧化硅

＜10

＜20

7

有机物（以COD计）

＜0.3

＜0.5

8

钠 Na

＜0.5

＜2

9

铁 Fe

＜1

＜2

10

铜 Cu

＜0.5

＜1

11

钙 Ca

＜1

＜3

12

镁 Mg

＜0.2

＜1

13

锌 Zn

＜0.5

＜1

14

锰 Mn

＜0.2

＜0.5